丨展示紹介

　　2019年11月28日、北京市経済情報局、北京経済技術開発区管理委員会、北京半導体産業協会、国際半導体産業協会、米国華人半導体協会、中関村集積回路産業同盟、中関村が主催した。集積回路 素材産業技術革新同盟、集積回路部品産業技術革新同盟、北方集積回路産業技術革新発展（北京）有限公司が共催した2019年北京マイクロエレクトロニクス国際シンポジウムおよびIC WORLDカンファレンスが盛大に開幕北京越荘国際会展センターにて。

　　丨壮大なシーン

　　盛剣環境は、中国の汎半導体産業にプロセス排ガス処理システム ソリューションを提供する国内大手企業です。彼は長年にわたり汎半導体プロセスの排ガス処理の分野に深く関わっており、BOE、チャイナスターオプトエレクトロニクス、天馬マイクロエレクトロニクス、Visionox、CECパンダ、トゥルーリーオプトエレクトロニクス、ホイケオプトエレクトロニクス、 CECシステムズなど、汎半導体産業のグリーン生産を創出する価値、国内の汎半導体プロセス排ガス処理分野におけるリーダー的地位に基づいて、盛剣環境は「チャレンジ・コア・オポチュニティ統合」における技術共有に招待されました。回路工場建設と環境保護フォーラム」。「汎半導体産業プロセス排出削減技術セミナー」をテーマに、主に最新の環境保全排出状況を分析し、目標とする解決策を提案します。

　　丨設備表示

　　今回の展示会の花形装置LOC SCRUBBERは、盛剣が独自に開発・製造した有害排ガス処理装置です。

　　LOC SCRUBBE（略称L/S）は、集積回路の製造工程中に発生する有毒・有害ガスを処理するために、半導体工場の生産装置側に設置されるプロセス排ガス処理装置です。これらのガスは、さまざまなパイプラインを腐食し、作業員に中毒を引き起こし、大気環境を破壊するなどの危険を引き起こす可能性があり、他の有害物質と接触したり、高濃度に蓄積すると火災の危険を引き起こす可能性があります。

　　目的：プロセス機械から排出されるフッ素、塩素、シリコンなどに代表される複雑な組成の有害・有害な排ガスの発生源を処理し、高温の酸化還元反応により有害物質の濃度を低減します。

　　原理：プロセス装置で発生し、真空ポンプで抽出された排ガスは、L/S装置の入口管を通って内部の反応室に導入され、反応室内で排ガスが分解され、副生成物が生成されます。水壁反応器で分解されたガスは直接循環水槽に流入し、分解排ガスや未分解のHCl、HBr、Cl2などの水溶性ガスは洗浄部で洗浄されて下流へ流されます。排出用のエアダクト。

　　特長：難分解性フッ素化合物やシランなどの有毒排ガスの処理に適しています。排ガス処理性能が高く大容量の処理が可能、SiO2などのダストの詰まりや排出が少ない、昇温・冷却が早く、ON/OFFに要する時間が短いなど、高い処理能力を発揮します。省エネ、生産状況に応じて自動的にモードを切り替える3つの動作モードを備え、停電時でも安全に相互通信が可能、装置の損傷を防ぐロック機能、装置の小型化を実現。

　　パンセミコンダクターの顧客の一部のプロセスでは、フッ素、塩素、シリコンなどの元素に代表される複雑な組成を持ち、有害性が高く処理が困難な有害な排ガスが発生し続けており、オンサイト処理を設定する必要があります。生産エリアのガス特性に適した前処理装置を備え、中央管理システムに排出される前に処理されます。同社が開発したL/Sをはじめとする単独処理装置は、上記有毒・有害な排ガスの発生源を制御し、集中処理システムにより排出基準を達成することで、同社のプロセス排ガス処理の総合力を高めている。

　　LOC SCRUBBER は現場で大きな注目を集め、当社の上級技術者も、お客様の質問に 1 つずつ専門的に紹介し回答するなど、多忙を極めていました。

　　丨素晴らしい瞬間

　　どの展示会も大成功

　　すべての顧客のサポートと信頼から切り離すことはできません

　　今後も盛剣環境は美しい青空を守る責任を負い続けます。

　　夢を馬にすれば、未来も期待できる…。

　　-終わり-

　　盛剣環境は、中国の汎半導体産業にプロセス排ガス処理システム ソリューションを提供する国内大手企業です。同社は、汎半導体プロセス排ガス処理システムおよび主要機器の研究開発、設計、加工および製造、システム統合、運用保守管理に重点を置き、カスタマイズされた安全で安定した排ガス処理システムソリューションを顧客に提供することに尽力しています。 。

　　同社は上海に本社を置き、上海盛剣換気ダクト有限公司、江蘇盛剣環境設備有限公司、北京盛剣科技有限公司などの子会社を有しています。同社は長年にわたり汎半導体プロセスの排ガス処理の分野に深く関わっており、BOE、チャイナスターオプトエレクトロニクス、天馬マイクロエレクトロニクス、Visionox、CEC Panda、Truly Optoelectronics、Huike Optoelectronicsなどの有名企業にサービスを提供し続けています。 、CECシステムズ。

　　同社は、国内の汎半導体産業で蓄積された設計能力、専門的才能、実務経験を基に、廃棄物焼却およびVOC排出削減産業への高度な処理技術と包括的なソリューションの適用を拡大し始めました。